對大多數真空系統來說，真空閥門應具有以下性能：
　　1、防銹性
　　在與真空環境接觸的材料要具有良好的防銹性能。因此采用鋁合金，銅合金和不銹鋼來制造真空隔離部件。
　　2、工作壓力范圍在0～2.5×105Pa
　　相對較寬的壓力范圍，會使產品的使用面較廣，而且閥板的密封好是雙向的，至少閥板在反頂大氣壓時也可密封。
　　3、低漏率
　　在高真空領域內漏率應<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率利于提高系統的效率，真空系統對減少生產成本有用。
　　4、起動時，震動低，對系統沖擊小。
　　5、結構緊湊，重量輕
　　6、明顯的閥位指示
　　7、可選配加裝閥門啟閉信號控制器，便于編程自動化控制。
　　8、高流導
　　9、采用波紋管作為位移的動密封
　　無動態漏氣，無油脂污染，可靠性高，相對橡膠密封，真空系統可靠性高并可以避免產生顆粒污染。
　　10、真空部分盡量避免采用真空脂。
　　11、盡量減少真空部件內的無用空間，以讓真空獲得的時間少。
　　12、盡可能的減少功耗。